Mikro sertlik cihazı, bireysel fazların bir malzemede veya bir metal yüzeydeki (örneğin, kaplama, nitrür tabakası) üzerindeki çok ince katmanlardaki sertliğini ölçmek için kullanılır. Değeri, MOHS sertliği HM, Vickers sertliği HV veya evlilik sertliği HK olarak ifade edilebilir. Örnek toprak olmalı ve cilalı olmalıdır.